Витратомір SCCM вимірює потік газу в невеликих кількостях і при низькому тиску. Це важливо в таких галузях, як виготовлення комп’ютерних мікросхем, де контроль потоку газу надзвичайно важливий для таких робіт, як нанесення хімікатів на мікросхеми, створення конструкцій або очищення газом.
Один тип витратоміра SCCM називається мікротепловим масовим витратоміром. Він працює, спостерігаючи, як газ охолоджує гарячий датчик. Чим холодніше стає, тим швидше газ тече.
Витратоміри SCCM повинні бути справді точними, чутливими та добре справлятися з крихітними потоками газу. Це дуже важливо в місцях, де навіть невелика зміна потоку газу може завадити створенню таких речей, як комп’ютерні мікросхеми чи ліки.
Таким чином, витратоміри SCCM є дійсно важливими інструментами для забезпечення того, щоб все пройшло гладко в галузях, які потребують точного контролю потоку газу. Вони гарантують, що все буде правильно, навіть якщо працювати з невеликою кількістю газу.
