Витратомір SCCM вимірює потік газу в невеликих кількостях і при низькому тиску. Це важливо в таких галузях, як виготовлення комп’ютерних мікросхем, де контроль потоку газу надзвичайно важливий для таких робіт, як нанесення хімікатів на мікросхеми, створення конструкцій або очищення газом.
Один тип витратоміра/контролера потоку SCCM називається мікротермічним масовим витратоміром/контролером потоку. Він працює, спостерігаючи, як газ охолоджує гарячий датчик. Чим холодніше стає, тим швидше газ тече.
Витратоміри SCCM мають бути дуже точними, чутливими та добре справлятися з крихітними потоками газу. Це дуже важливо в місцях, де навіть невелика зміна потоку газу може завадити створенню таких речей, як комп’ютерні мікросхеми чи ліки.
Таким чином, витратоміри SCCM є дійсно важливими інструментами для того, щоб усе пройшло гладко в галузях, де потрібен точний контроль потоку газу. Вони гарантують, що все буде правильно, навіть якщо працювати з невеликою кількістю газу.